Система объекта должна обеспечить чистые химические вещества, ультра -чистую воду и чистый газ процесса для всего FAB. Это выдвигает высокие требования для стабильности и согласованности элементов фильтра, используемых в каждом разделе. Большой элемент фильтра Hangzhou Dali, элемент фильтра безопасности, элемент высокопроизводительного фильтра и перфторированный элемент фильтра предоставляет стабильную службу фильтрации для заводской системы.