Система завода должна обеспечить стабильный запас чистых химикатов, ультрапирной воды и чистых газов процессов по всему FAB. Это выдвигает высокие требования для стабильности и согласованности элемента фильтра, используемого в каждом разделе. Большой элемент фильтра Hangzhou Dali, элемент фильтра безопасности, элемент высокопроизводительного фильтра и перфторированные элементы фильтра обеспечивают стабильную службу фильтрации для системы управления заводом.